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根据【关键词:
表面活性剂,化学机械抛光,抛光机理,A向蓝宝石晶片,材料去除率
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第18届全国特种加工学术会议
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电加工与模具
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河北工业大学
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江南大学
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关键词
A向蓝宝石晶片
化学机械抛光
液组分优化及其抛光工艺研究
作者:
白亚雯
来源:
江南大学
年份:
2018
文献类型 :
学位论文
关键词:
表面活性剂
化学机械抛光
抛光机理
A向蓝宝石晶片
材料去除率
描述:
A向蓝宝石晶片
化学机械抛光
液组分优化及其抛光工艺研究
LED用不同晶面蓝宝石衬底CMP材料的研究
作者:
赵欣
来源:
河北工业大学
年份:
2018
文献类型 :
学位论文
关键词:
化学机械抛光
不同晶面
抛光液
蓝宝石衬底
描述:
LED用不同晶面蓝宝石衬底CMP材料的研究
航空铝合金高效精密电解铣磨加工试验
作者:
牛屾
曲宁松
王系众
李洁
李寒松
来源:
电加工与模具
年份:
2020
文献类型 :
期刊
关键词:
航空铝合金
电解铣磨加工
平整度
材料去除率
描述:
航空铝合金高效精密电解铣磨加工试验
电解铣磨加工航空铝合金试验研究
作者:
牛屾
曲宁松
王系众
李寒松
来源:
第18届全国特种加工学术会议
年份:
2019
文献类型 :
会议论文
关键词:
航空铝合金
电解铣磨加工
平整度
材料去除率
描述:
电解铣磨加工航空铝合金试验研究
不同晶面砷化镓衬底
化学机械抛光
研究
作者:
赵俊马
来源:
北京交通大学
年份:
2018
文献类型 :
学位论文
关键词:
工艺参数
化学机械抛光
不同晶面
砷化镓
各向异性
描述:
不同晶面砷化镓衬底
化学机械抛光
研究
航空发动机叶片磨抛工艺的研究及优化
作者:
何瑛俏
来源:
浙江工业大学
年份:
2020
文献类型 :
学位论文
关键词:
表面粗糙度
参数优化
磨抛加工
叶片
材料去除率
描述:
航空发动机叶片磨抛工艺的研究及优化
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