不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究
日期：2018.12.26 点击数：0
【类型】学位论文
【作者】赵俊马
【关键词】 工艺参数,化学机械抛光,不同晶面,砷化镓,各向异性
【摘要】不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究
【学位名称】硕士
【学位授予单位】北京交通大学
【学位授予年度】2018
【导师姓名】樊文刚
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