LED用不同晶面蓝宝石衬底CMP材料的研究
日期：2018.12.29 点击数：0
【类型】学位论文
【作者】赵欣
【关键词】 化学机械抛光,不同晶面,抛光液,蓝宝石衬底
【摘要】LED用不同晶面蓝宝石衬底CMP材料的研究
【学位名称】硕士
【学位授予单位】河北工业大学
【学位授予年度】2018
【导师姓名】牛新环
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