LED用不同晶面蓝宝石衬底CMP材料的研究

日期:2018.12.29 点击数:0

【类型】学位论文

【作者】赵欣 

【关键词】 化学机械抛光,不同晶面,抛光液,蓝宝石衬底

【摘要】LED用不同晶面蓝宝石衬底CMP材料的研究

【学位名称】硕士

【学位授予单位】河北工业大学

【学位授予年度】2018

【导师姓名】牛新环

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