A向蓝宝石晶片化学机械抛光液组分优化及其抛光工艺研究
日期：2018.12.31 点击数：3
【类型】学位论文
【作者】白亚雯
【关键词】 表面活性剂,化学机械抛光,抛光机理,A向蓝宝石晶片,材料去除率
【摘要】A向蓝宝石晶片化学机械抛光液组分优化及其抛光工艺研究
【学位名称】硕士
【学位授予单位】江南大学
【学位授予年度】2018
【导师姓名】倪自丰
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