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LED用不同晶面蓝宝石衬底CMP材料的研究
作者: 赵欣   来源: 河北工业大学 年份: 2018 文献类型 : 学位论文 关键词: 化学机械抛光   不同晶面   抛光液   蓝宝石衬底  
描述: LED用不同晶面蓝宝石衬底CMP材料的研究
不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究
作者: 赵俊马   来源: 北京交通大学 年份: 2018 文献类型 : 学位论文 关键词: 工艺参数   化学机械抛光   不同晶面   砷化镓   各向异性  
描述: 不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究
A向蓝宝石晶片化学机械抛光液组分优化及其抛光工艺研究
作者: 白亚雯   来源: 江南大学 年份: 2018 文献类型 : 学位论文 关键词: 表面活性剂   化学机械抛光   抛光机理   A向蓝宝石晶片   材料去除率  
描述: A向蓝宝石晶片化学机械抛光液组分优化及其抛光工艺研究
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