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根据【关键词:
化学机械抛光,不同晶面,抛光液,蓝宝石衬底
】搜索到相关结果
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学位论文
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学位论文
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2018
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江南大学
(1)
北京交通大学
(1)
河北工业大学
(1)
关键词
LED用不同晶面蓝宝石衬底CMP材料的研究
作者：
赵欣
来源：
河北工业大学
年份：
2018
文献类型 ：
学位论文
关键词：
化学机械抛光
不同晶面
抛光液
蓝宝石衬底
描述：
LED用不同晶面蓝宝石衬底CMP材料的研究
不同晶面砷化镓衬底
化学机械抛光
研究
作者：
赵俊马
来源：
北京交通大学
年份：
2018
文献类型 ：
学位论文
关键词：
工艺参数
化学机械抛光
不同晶面
砷化镓
各向异性
描述：
不同晶面砷化镓衬底
化学机械抛光
研究
A向蓝宝石晶片
化学机械抛光液
组分优化及其抛光工艺研究
作者：
白亚雯
来源：
江南大学
年份：
2018
文献类型 ：
学位论文
关键词：
表面活性剂
化学机械抛光
抛光机理
A向蓝宝石晶片
材料去除率
描述：
A向蓝宝石晶片
化学机械抛光液
组分优化及其抛光工艺研究
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