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LED用不同晶面蓝宝石衬底CMP材料的研究: 作者： 赵欣 来源： 河北工业大学 年份： 2018 文献类型： 学位论文 关键词： 化学机械抛光不同晶面抛光液 蓝宝石衬底; 描述： LED用不同晶面蓝宝石衬底CMP材料的研究

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