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根据【关键词:
磁流变平面抛光
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学位论文
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学位论文
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2021
(1)
2020
(1)
按来源分组
北京交通大学
(2)
关键词
磁流变平面抛光晶圆表面划痕损伤形成机制与抑制方法研究
作者：
郭浩东
来源：
北京交通大学
年份：
2021
文献类型 ：
学位论文
关键词：
磁流变平面抛光
划痕损伤形貌模型
划痕损伤
抑制方法
描述：
磁流变平面抛光晶圆表面划痕损伤形成机制与抑制方法研究
磁流变平面抛光过程中抛光力信号分析与提取
作者：
哈超
来源：
北京交通大学
年份：
2020
文献类型 ：
学位论文
关键词：
抛光力
磁流变平面抛光
有限元分析
系统辨识
信号处理
描述：
磁流变平面抛光过程中抛光力信号分析与提取
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