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首页> 根据【关键词:复杂结构表面,工艺参数,等离子电解抛光,航空航天合金,抛光机理,表面抛光】搜索到相关结果 4 条

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A向蓝宝石晶片化学机械抛光液组分优化及其抛光工艺研究: 作者： 白亚雯 来源： 江南大学 年份： 2018 文献类型： 学位论文 关键词： 表面活性剂化学机械抛光 抛光机理 A向蓝宝石晶片材料去除率; 描述： A向蓝宝石晶片化学机械抛光液组分优化及其抛光工艺研究

A向蓝宝石晶片化学机械抛光液组分优化及其抛光工艺研究: 作者： 白亚雯 来源： 江南大学 年份： 2018 文献类型： 学位论文 关键词： 表面活性剂化学机械抛光 抛光机理 A向蓝宝石晶片材料去除率; 描述： A向蓝宝石晶片化学机械抛光液组分优化及其抛光工艺研究

不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究: 作者： 赵俊马 来源： 北京交通大学 年份： 2018 文献类型： 学位论文 关键词： 工艺参数 化学机械抛光不同晶面砷化镓各向异性; 描述： 不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究

不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究: 作者： 赵俊马 来源： 北京交通大学 年份： 2018 文献类型： 学位论文 关键词： 工艺参数 化学机械抛光不同晶面砷化镓各向异性; 描述： 不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究

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