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VCSEL亚波长光栅P面反射镜的优化设计
作者: 王凤玲   来源: 长春理工大学 年份: 2020 文献类型 : 学位论文 关键词: 分布式布拉格反射镜   高折射率对比度亚波长光栅   砷化镓   垂直腔面发射激光器  
描述: VCSEL亚波长光栅P面反射镜的优化设计
不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究
作者: 赵俊马   来源: 北京交通大学 年份: 2018 文献类型 : 学位论文 关键词: 工艺参数   化学机械抛光   不同晶面   砷化镓   各向异性  
描述: 不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究
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