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根据【关键词:
分布式布拉格反射镜,高折射率对比度亚波长光栅,砷化镓,垂直腔面发射激光器
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学位论文
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学位论文
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2020
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2018
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按来源分组
北京交通大学
(1)
长春理工大学
(1)
关键词
VCSEL亚波长光栅P面反射镜的优化设计
作者:
王凤玲
来源:
长春理工大学
年份:
2020
文献类型 :
学位论文
关键词:
分布式布拉格反射镜
高折射率对比度亚波长光栅
砷化镓
垂直腔面发射激光器
描述:
VCSEL亚波长光栅P面反射镜的优化设计
不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究
作者:
赵俊马
来源:
北京交通大学
年份:
2018
文献类型 :
学位论文
关键词:
工艺参数
化学机械抛光
不同晶面
砷化镓
各向异性
描述:
不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究
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