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关键词
高质量非极性a面GaN异质外延的研究
作者: 严珅   来源: 中国科学院大学(中国科学院物理研究所) 年份: 2020 文献类型 : 学位论文 关键词: 金属有机物化学气相沉积   表面形貌   晶体质量   N   非极性a面Ga  
描述: 高质量非极性a面GaN异质外延的研究
微纳图形衬底外延高质量非极性GaN的研究
作者: 王彩玮   来源: 中国科学院大学(中国科学院物理研究所) 年份: 2019 文献类型 : 学位论文 关键词: 金属有机物化学气相沉积   非极性   小岛形貌   极化电场   各向异性  
描述: 微纳图形衬底外延高质量非极性GaN的研究
非极性a面GaN材料外延的成核过程及选区生长研究
作者: 迭俊珲   来源: 中国科学院大学(中国科学院物理研究所) 年份: 2019 文献类型 : 学位论文 关键词: r面蓝宝石衬底   金属有机化学气相沉积   AlN成核层   各向异性降低   非极性a面GaN  
描述: 非极性a面GaN材料外延的成核过程及选区生长研究
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