非极性a面GaN材料外延的成核过程及选区生长研究

【类型】学位论文

【作者】迭俊珲 

【关键词】 r面蓝宝石衬底,金属有机化学气相沉积,AlN成核层,各向异性降低,非极性a面GaN

【摘要】非极性a面GaN材料外延的成核过程及选区生长研究

【学位名称】博士

【学位授予单位】中国科学院大学(中国科学院物理研究所)

【学位授予年度】2019

【导师姓名】贾海强

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