高质量非极性a面GaN异质外延的研究
日期：2020.12.26 点击数：3
【类型】学位论文
【作者】严珅
【关键词】 金属有机物化学气相沉积,表面形貌,晶体质量,N,非极性a面Ga
【摘要】高质量非极性a面GaN异质外延的研究
【学位名称】博士
【学位授予单位】中国科学院大学(中国科学院物理研究所)
【学位授予年度】2020
【导师姓名】贾海强
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