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关键词
石墨
烯
MEMS航空气压传感器结构设计与封装技术研究
作者：
刘絮
来源：
哈尔滨工业大学
年份：
2020
文献类型 ：
学位论文
关键词：
胶黏剂封装
隧穿电流
石墨烯
MEMS
光纤F
P内腔传感器
描述：
石墨
烯
MEMS航空气压传感器结构设计与封装技术研究
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