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石墨烯MEMS航空气压传感器结构设计与封装技术研究
作者: 刘絮   来源: 哈尔滨工业大学 年份: 2020 文献类型 : 学位论文 关键词: 胶黏剂封装   隧穿电流   石墨烯   MEMS   光纤F   P内腔传感器  
描述: 石墨烯MEMS航空气压传感器结构设计与封装技术研究
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