石墨烯MEMS航空气压传感器结构设计与封装技术研究
日期：2020.12.26 点击数：0
【类型】学位论文
【作者】刘絮
【关键词】 胶黏剂封装,隧穿电流,石墨烯,MEMS,光纤F,P内腔传感器
【摘要】石墨烯MEMS航空气压传感器结构设计与封装技术研究
【学位名称】硕士
【学位授予单位】哈尔滨工业大学
【学位授予年度】2020
【导师姓名】宋学锋
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