关键词
平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究
作者: 赵思伟   来源: 西安工业大学 年份: 2018 文献类型 : 学位论文 关键词: 自重变形   有限元分析   参考面标定   变形补偿   光学检测  
描述: 平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究
平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究
作者: 赵思伟   来源: 西安工业大学 年份: 2018 文献类型 : 学位论文 关键词: 自重变形   有限元分析   参考面标定   变形补偿   光学检测  
描述: 平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究
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