平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究
日期：2018.12.27 点击数：3
【类型】学位论文
【作者】赵思伟
【关键词】 自重变形,有限元分析,参考面标定,变形补偿,光学检测
【摘要】平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究
【学位名称】硕士
【学位授予单位】西安工业大学
【学位授予年度】2018
【导师姓名】田爱玲
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