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平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究: 作者： 赵思伟 来源： 西安工业大学 年份： 2018 文献类型： 学位论文 关键词： 自重变形有限元分析 参考面标定 变形补偿光学检测; 描述： 平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究

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