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单晶硅{100}晶面族面内应力的拉曼实验方法、设备与验证
作者: 孟田   来源: 天津大学 年份: 2018 文献类型 : 学位论文 关键词: 角度分辨斜向背散射拉曼测量系统   原位   显微拉曼光谱   应力分量解耦分析   拉曼力学测量模型  
描述: 单晶硅{100}晶面族面内应力的拉曼实验方法、设备与验证
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