单晶硅{100}晶面族面内应力的拉曼实验方法、设备与验证
日期：2018.12.29 点击数：0
【类型】学位论文
【作者】孟田
【关键词】 角度分辨斜向背散射拉曼测量系统,原位,显微拉曼光谱,应力分量解耦分析,拉曼力学测量模型
【摘要】单晶硅{100}晶面族面内应力的拉曼实验方法、设备与验证
【学位名称】硕士
【学位授予单位】天津大学
【学位授予年度】2018
【导师姓名】仇巍
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