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根据【关键词:
表面活性剂,化学机械抛光,抛光机理,A向蓝宝石晶片,材料去除率
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关键词
不同晶面砷化镓衬底
化学机械抛光
研究
作者:
赵俊马
来源:
北京交通大学
年份:
2018
文献类型 :
学位论文
关键词:
工艺参数
化学机械抛光
不同晶面
砷化镓
各向异性
描述:
不同晶面砷化镓衬底
化学机械抛光
研究
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