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根据【关键词:
熵权法,层次分析法,BP神经网络,航空活塞发动机,GA,性能衰退
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关键词
基于多磁极排布的半导体晶圆磁流变平坦化抛光研究
作者：
刘占斌
来源：
北京交通大学
年份：
2021
文献类型 ：
学位论文
关键词：
磁流变抛光
多磁极排布
BP神经网络
GA
平整度模型
材料去除
描述：
基于多磁极排布的半导体晶圆磁流变平坦化抛光研究
基于多磁极排布的半导体晶圆磁流变平坦化抛光研究
作者：
刘占斌
来源：
北京交通大学
年份：
2021
文献类型 ：
学位论文
关键词：
磁流变抛光
多磁极排布
BP神经网络
GA
平整度模型
材料去除
描述：
基于多磁极排布的半导体晶圆磁流变平坦化抛光研究
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