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基于多磁极排布的半导体晶圆磁流变平坦化抛光研究: 作者： 刘占斌 来源： 北京交通大学 年份： 2021 文献类型： 学位论文 关键词： 磁流变抛光多磁极排布 BP神经网络 GA 平整度模型 材料去除; 描述： 基于多磁极排布的半导体晶圆磁流变平坦化抛光研究

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