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2021
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东南大学
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关键词
基于晶面原子排列的MEMS湿法刻蚀机制及速率模型研究
作者：
姚嘉宝
来源：
东南大学
年份：
2021
文献类型 ：
学位论文
关键词：
各向异性湿法刻蚀
台阶流动
原子排列特征
刻蚀速率模型
描述：
基于晶面原子排列的MEMS湿法刻蚀机制及速率模型研究
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