基于晶面原子排列的MEMS湿法刻蚀机制及速率模型研究
日期：2021.12.27 点击数：0
【类型】学位论文
【作者】姚嘉宝
【关键词】 各向异性湿法刻蚀,台阶流动,原子排列特征,刻蚀速率模型
【摘要】基于晶面原子排列的MEMS湿法刻蚀机制及速率模型研究
【学位名称】硕士
【学位授予单位】东南大学
【学位授予年度】2021
【导师姓名】仇晓黎
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