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UFPA片级封装光学盖板集成技术研究: 作者： 蒋云辉 来源： 电子科技大学 年份： 2020 文献类型： 学位论文 关键词： 薄膜吸气剂超表面 光学盖板晶圆 非制冷红外探测器片级封装; 描述： UFPA片级封装光学盖板集成技术研究

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