UFPA片级封装光学盖板集成技术研究
日期：2020.12.30 点击数：0
【类型】学位论文
【作者】蒋云辉
【关键词】 薄膜吸气剂,超表面,光学盖板晶圆,非制冷红外探测器,片级封装
【摘要】UFPA片级封装光学盖板集成技术研究
【学位名称】硕士
【学位授予单位】电子科技大学
【学位授予年度】2020
【导师姓名】何少伟
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