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根据【关键词:
不同晶面
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2018
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北京交通大学
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河北工业大学
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关键词
不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究
作者:
赵俊马
来源:
北京交通大学
年份:
2018
文献类型 :
学位论文
关键词:
工艺参数
化学机械抛光
不同晶面
砷化镓
各向异性
描述:
不同晶面砷化镓衬底化学机械抛光研究
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