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关键词
基于
MO
EMS结构功能材料焦平面的毫米波及太赫兹成像系统关键技术研究
作者:
金慧珍
来源:
电子科技大学
年份:
2021
文献类型 :
学位论文
关键词:
焦平面
氧化铟锡
微光机电系统
结构功能材料
描述:
基于
MO
EMS结构功能材料焦平面的毫米波及太赫兹成像系统关键技术研究
基于
MO
EMS结构功能材料焦平面的毫米波及太赫兹成像系统关键技术研究
作者:
金慧珍
来源:
电子科技大学
年份:
2021
文献类型 :
学位论文
关键词:
焦平面
氧化铟锡
微光机电系统
结构功能材料
描述:
基于
MO
EMS结构功能材料焦平面的毫米波及太赫兹成像系统关键技术研究
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