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金慧珍
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2021
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电子科技大学
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关键词
基于MOEMS结构功能材料焦平面的毫米波及太赫兹成像系统关键技术研究
作者：
金慧珍
来源：
电子科技大学
年份：
2021
文献类型 ：
学位论文
关键词：
焦平面
氧化铟锡
微光机电系统
结构功能材料
描述：
基于MOEMS结构功能材料焦平面的毫米波及太赫兹成像系统关键技术研究
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