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- 微纳图形衬底外延高质量非极性GaN的研究
- 作者： 王彩玮 来源： 中国科学院大学(中国科学院物理研究所) 年份： 2019 文献类型 ： 学位论文 关键词： 金属有机物化学气相沉积 非极性 小岛形貌 极化电场 各向异性
- 描述： 微纳图形衬底外延高质量非极性GaN的研究
- 非极性a面GaN材料外延的成核过程及选区生长研究
- 作者： 迭俊珲 来源： 中国科学院大学(中国科学院物理研究所) 年份： 2019 文献类型 ： 学位论文 关键词： r面蓝宝石衬底 金属有机化学气相沉积 AlN成核层 各向异性降低 非极性a面GaN
- 描述： 非极性a面GaN材料外延的成核过程及选区生长研究