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关键词
高
质量
非极性a面GaN异质外延的研究
作者:
严珅
来源:
中国科学院大学(中国科学院物理研究所)
年份:
2020
文献类型 :
学位论文
关键词:
金属有机物化学气相沉积
表面形貌
晶体质量
N
非极性a面Ga
描述:
高
质量
非极性a面GaN异质外延的研究
微纳图形衬底外延高
质量
非极性GaN的研究
作者:
王彩玮
来源:
中国科学院大学(中国科学院物理研究所)
年份:
2019
文献类型 :
学位论文
关键词:
金属有机物化学气相沉积
非极性
小岛形貌
极化电场
各向异性
描述:
微纳图形衬底外延高
质量
非极性GaN的研究
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