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金属有机化学气相沉积
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2019
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中国科学院大学(中国科学院物理研究所)
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关键词
非极性a面GaN材料外延的成核过程及选区生长研究
作者：
迭俊珲
来源：
中国科学院大学(中国科学院物理研究所)
年份：
2019
文献类型 ：
学位论文
关键词：
r面蓝宝石衬底
金属有机化学气相沉积
AlN成核层
各向异性降低
非极性a面GaN
描述：
非极性a面GaN材料外延的成核过程及选区生长研究
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