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基于FDSOI工艺的SELBOX器件性能的背板掺杂及BOX窗口位置相关性研究: 作者： 黄琴 来源： 华东师范大学 年份： 2019 文献类型： 学位论文 关键词： 选择性埋氧器件 直流特性背板掺杂 BOX窗口位置单粒子瞬态自热效应; 描述： 基于FDSOI工艺的SELBOX器件性能的背板掺杂及BOX窗口位置相关性研究

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