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A向蓝宝石晶片化学机械抛光液组分优化及其抛光工艺研究: 作者： 白亚雯 来源： 江南大学 年份： 2018 文献类型： 学位论文 关键词： 表面活性剂 化学机械抛光抛光机理 A向蓝宝石晶片材料去除率; 描述： A向蓝宝石晶片化学机械抛光液组分优化及其抛光工艺研究

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