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根据【关键词:
表面活性剂,化学机械抛光,抛光机理,A向蓝宝石晶片,材料去除率
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关键词
A向蓝宝石晶片
化学机械抛光
液组分优化及其抛光工艺研究
作者:
白亚雯
来源:
江南大学
年份:
2018
文献类型 :
学位论文
关键词:
表面活性剂
化学机械抛光
抛光机理
A向蓝宝石晶片
材料去除率
描述:
A向蓝宝石晶片
化学机械抛光
液组分优化及其抛光工艺研究
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