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小像元InSb红外焦平面探测器制备及性能: 作者： 侯治锦 来源： 西北工业大学 年份： 2019 文献类型： 学位论文 关键词： 小像元 硅衍射微透镜 InSb 缺陷元红外焦平面探测器串音台面刻蚀铟柱制备; 描述： 小像元InSb红外焦平面探测器制备及性能

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