小像元InSb红外焦平面探测器制备及性能
日期：2019.12.31 点击数：3
【类型】学位论文
【作者】侯治锦
【关键词】 小像元,硅衍射微透镜,InSb,缺陷元,红外焦平面探测器,串音,台面刻蚀,铟柱制备
【摘要】小像元InSb红外焦平面探测器制备及性能
【学位名称】博士
【学位授予单位】西北工业大学
【学位授予年度】2019
【导师姓名】傅莉
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