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熔石英平面元件离子束抛光工艺研究: 作者： 张兴星 来源： 西安工业大学 年份： 2020 文献类型： 学位论文 关键词： 离子束抛光表面粗糙度射频离子源 微纳结构; 描述： 熔石英平面元件离子束抛光工艺研究

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