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熔石英平面元件离子束抛光工艺研究
作者: 张兴星   来源: 西安工业大学 年份: 2020 文献类型 : 学位论文 关键词: 离子束抛光   表面粗糙度   射频离子源   微纳结构  
描述: 熔石英平面元件离子束抛光工艺研究
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