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张兴星
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2020
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西安工业大学
(1)
关键词
熔石英平面元件离子束抛光工艺研究
作者:
张兴星
来源:
西安工业大学
年份:
2020
文献类型 :
学位论文
关键词:
离子束抛光
表面粗糙度
射频离子源
微纳结构
描述:
熔石英平面元件离子束抛光工艺研究
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