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基于MOEMS结构功能材料焦平面的毫米波及太赫兹成像系统关键技术研究: 作者： 金慧珍 来源： 电子科技大学 年份： 2021 文献类型： 学位论文 关键词： 焦平面氧化铟锡 微光机电系统 结构功能材料; 描述： 基于MOEMS结构功能材料焦平面的毫米波及太赫兹成像系统关键技术研究

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