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根据【关键词:
小像元,硅衍射微透镜,InSb,缺陷元,红外焦平面探测器,串音,台面刻蚀,铟柱制备
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关键词
小像元InSb红外焦平面探测器制备及性能
作者：
侯治锦
来源：
西北工业大学
年份：
2019
文献类型 ：
学位论文
关键词：
小像元
硅衍射微透镜
InSb
缺陷元
红外焦平面探测器
串音
台面刻蚀
铟柱制备
描述：
小像元InSb红外焦平面探测器制备及性能
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