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根据【关键词:
化学机械抛光,不同晶面,抛光液,蓝宝石衬底
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2018
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江南大学
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关键词
A向蓝宝石晶片
化学机械抛光液
组分优化及其抛光工艺研究
作者：
白亚雯
来源：
江南大学
年份：
2018
文献类型 ：
学位论文
关键词：
表面活性剂
化学机械抛光
抛光机理
A向蓝宝石晶片
材料去除率
描述：
A向蓝宝石晶片
化学机械抛光液
组分优化及其抛光工艺研究
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