基于平面硅纳米线的高性能鳍形栅薄膜晶体管器件

日期:2018.12.26 点击数:3

【类型】学位论文

【作者】王吉米 

【关键词】 薄膜晶体管,纳米液滴扫描法,多通道纳米线,平板显示,引导调控,高迁移率,高性能

【摘要】基于平面硅纳米线的高性能鳍形栅薄膜晶体管器件

【学位名称】硕士

【学位授予单位】南京大学

【学位授予年度】2018

【导师姓名】余林蔚

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