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C.航空航天先进材料与工艺技术: 作者： 暂无 来源： 2008中国材料研讨会暨庆祝中国科协成立50周年 年份： 2016 文献类型： 会议论文; 描述： C2-13柔性基底AZO薄膜制备及其红外隐身性能研究李静,王智勇,何山:北京航空材料研究院利用反应磁控溅射,用不同掺杂比的锌铝合金靶材,在PI有机柔性基底表面制备了附着力良好、电阻率低的透明AZO薄膜,利用AFM、XRD、EDAX、分光光度计、四电子探针等分析测试技术对AZO薄膜