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关键词
北京航空航天大学研制成功高灵敏度石墨
烯
MOEMS谐振压力传感器
作者：
暂无
来源：
传感器世界
年份：
2023
文献类型 ：
期刊
关键词：
北京航空航天大学
石墨烯
MOEMS
压力传感器
描述：
由悬浮石墨
烯
制成的纳米机械谐振器对压力变化表现出高灵敏度。然而，由于受空气阻尼的影响，这些设备在非真空环境中表现出明显的能量损失，以及由于石墨
烯
的轻微渗透，参考腔内不可避免地出现微弱的气体泄漏
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