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根据【检索词:
压力传感器
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关键词
北京航空航天大学研制成功高灵敏度石墨烯MOEMS谐振
压力传感器
作者:
暂无
来源:
传感器世界
年份:
2023
文献类型 :
期刊
关键词:
北京航空航天大学
石墨烯
MOEMS
压力传感器
描述:
Pressure Sensor”的论文,研究提出了一种利用微电子机械系统技术的新型石墨烯谐振
压力传感器
,其特点是将多层石墨烯膜密封在真空中,并粘附在带有凹槽的压敏硅膜上。
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