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曲线拟合,热障涂层(TBCs),点云切片,航空发动机叶片,路径规划
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关键词
一种航空配套微压传感器芯片设计及制备
作者：
李闯
赵立波
王尊敬
徐留根
张磊
涂孝军
来源：
传感技术学报
年份：
2019
文献类型 ：
期刊
关键词：
非线性误差
曲线拟合
微压传感器
芯片设计
灵敏度
描述：
针对航空领域微小压力测量需求,介绍了一种沟槽梁膜复合结构压力芯片的设计和制备方法。设计的压力芯片解决了传统硅压阻压力传感器灵敏度与线性度的固有矛盾,通过有限元分析可动膜片应力应变输出,并结合
曲线拟合
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