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北京航空航天大学研制成功高灵敏度石墨烯MOEMS谐振压力传感器
作者: 暂无 来源: 传感器世界 年份: 2023 文献类型 : 期刊 关键词: 北京航空航天大学   石墨烯   MOEMS   压力传感器  
描述: Pressure Sensor”的论文,研究提出了一种利用微电子机械系统技术的新型石墨烯谐振压力传感器,其特点是将多层石墨烯膜密封在真空中,并粘附在带有凹槽的压敏硅膜上。
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